一:标识 |
【危化品名称】:四氟甲烷 |
【中文名】:四氟甲烷 又名四氟化碳 |
【英文名】:tetrafluoromethane |
【分子式】:CF4 |
【相对分子量】:88.01 |
【CAS号】:75-73-0 |
【危险性类别】:第2.2类 不然气体 |
二:主要组成与性状 |
【主要成分】:纯品 四氟化碳含量≥99.999% |
【外观与性状】:无色无臭气体。 |
【主要用途】:用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。 |
三:健康危害 |
【侵入途径】:吸入 |
【健康危害】:能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 |
四:急救措施 |
【皮肤接触】: |
【眼睛接触】: |
【吸入】:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。 |
【食入】: |
五:燃爆特性与消防 |
【闪点】:无意义 |
【燃爆下限】:无意义 |
【引燃温度】:无意义 |
【爆炸上限】:无意义 |
【危险特性】:不燃。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。 |
【灭火方法】:本品不燃。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。 |
六:泄漏应急处理 |
【泄漏应急处理】:迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。 |
七:储运注意事项 |
【储运注意事项】:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
八:防护措施 |
【中国MAC】:未制定标准 |
【前苏联MAC】:未制定标准 |
【检测方法】: |
【工程控制】:生产过程密闭,全面通风。 |
【呼吸系统防护】:一般不需要特殊防护,高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。 |
【眼睛防护】:一般不需特殊防护。 |
【身体防护】:穿一般作业工作服。 |
【手防护】:戴一般作业防护手套。 |
【其他防护】:避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。 |
九:理化特性 |
【熔点】:-183.6 |
【沸点】:-128 |
【相对密度(水=1)】:1.61(-130℃) |
【相对密度(空气=1)】:无资料 |
【饱和蒸汽压】:13.33(-150.7℃) |
【辛酸/水分配系数的对数值】:无资料 |
【燃烧热】:无意义 |
【临界温度】:-45.5 |
【临界压力】:3.74 |
【溶解性】:不溶于水。 |
十:稳定性和反应活性 |
【稳定性】:稳定 |
【聚合危害】: |
【禁忌物】:强氧化剂、易燃或可燃物。 |
【燃烧分解产物】: |
十一:毒理学资料 |
【急性毒性】:LD50:无资料,LC50:无资料 |
【刺激性】: |
【亚急性和慢性毒性】: |
【生殖毒性】: |
【致癌性】: |
【致突变性】: |
十二:环境资料 |
【环境资料】: |
十三:废弃 |
【废弃】:根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法。 |
十四:运输信息 |
【危规号】:22033 |
【联合国编号】:1982 |
【包装分类】:O53 |
【包装标志】: |
【包装方法】:钢质气瓶。 |
十五:法规信息 |
【法规信息】:化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布),化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号),工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规,针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定;常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第2.2 类不燃气体。 |
十六:其它信息 |
【企业名称】:珠海华特雅工业气体有限公司 |
【企业地址】:珠海高新区金鼎金沙路159号 |
【邮编】:519085 |
【应急电话及传真】:0756-3313333 |
【其他信息】: |