高纯六氟化硫
高纯六氟化硫在微电子行业中的应用，主要可作为优良的蚀刻气体，在光导纤维制造中，可作为单膜光纤隔离层掺添剂，还可作为重要的激光材料用在激光技术中。
产品性
分子量 146.06，常态下是种无色、无臭、无毒、不燃、无腐蚀性的气态物质，化学稳定性强，近年来高纯六氟化硫（99.999％)在电子行业的应用发展迅速，是优良的蚀刻气体。
应用域
高纯六氟化硫在微电子行业中的应用，主要可作为优良的蚀刻气体，在光导纤维制造中，可作为单膜光纤隔离层掺添剂，还可作为重要的激光材料用在激光技术中。
高纯度六氟化硫质量标准：
| 检验项目 | 纯度 % | 氮气ppmv | 氧气ppmv | 四氟化碳ppmv | 氧化碳ppmv | 二氧化碳ppmv | 酸度ppmv | 水分ppmv |
| 指标值 | ≥99.999 | ≤3 | ≤3 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.1 | ≤2 |
