电子三氟化氮
NF3气体在高能化学激光、电子工业(IC)以及太阳能光电产业等方面具有非常广泛的应用。
NF3气体在高能化学激光、电子工业(IC)以及太阳能光电产业等方面具有非常广泛的应用。
主要用途:
NF3的三个主要用途,是用作高能化学激光气的氟源,二是作为电子工业(IC)中的蚀刻剂、清洗剂,三是应用于太阳能光电产业。
NF3其它用途:生产氟铵盐,用作填充气体以增加灯泡的寿命和亮度,在采矿和火箭技术中用作氧化剂等。
物化性质:
NF3在室温和大气压力下是无色、稳定和有毒的气体。相对分子质量为71.002,沸点为-129.06℃。
NF3在室温下较稳定,但在800~1200℃下发生猛烈分解;NF3是种有潜力的氧化剂,别是在约200℃时,其反应性与氧相当;NF3在与其它元素反应时主要用作氟化剂;NF3在常温下不与水、稀酸和稀碱溶液反应,但在100℃下与碱性溶液接触时会缓慢水解生成亚硝酸盐及氟化物,在电火花作用下,NF3可与水猛烈反应;NF3与H2或氢化物可快速反应并放出大量的热,该反应是NF3用于高能化学激光器的基础;NF3可与有机物作用,但通常需升高温度以引发反应,因而常常发生爆炸;在低于70℃时NF3气体对普通金属不腐蚀,因此可用钢、不锈钢、镍、铜和铝等材料制作相关设备。
安数据:
NF3是种有毒、不可燃的压缩气体;
无气味,但其中所含的杂质使它闻起来有发霉的气味;
暴露限: OSHA: PEL=10ppm. ACGIH: TWA/TLV=10ppm. NIOSH: 1000ppm.当进入浓度超过暴露限的泄方区时需配备自给式呼吸器(SCBA);
氧化剂,会引起或促进金属和非金属物质的燃烧,别是温度超过200℃时;燃烧产物有毒;
使用NF3的任何系统都不应有油、油脂和其它有机物;
存储于钢瓶中,压力小于1500psig,盛装NF3的气瓶不允许在高于52℃的环境下使用、贮存和运输。
包装规格:
包装:高压无缝碳钢钢瓶
包装规格:47L标或DOT瓶、470L Y瓶等。
三氟化氮质量指标:
三氟化氮(NF3),102 | ≥ | 99.98 | 99.99 | 99.996 |
四氟化碳(CF4),10-6 | ≤ | 100 | 50 | 20 |
氮(N2),10-6 | ≤ | 10 | 10 | 5 |
氧加氩(O2+Ar),10-6 | ≤ | 10 | 5 | 3 |
氧化碳(CO),10-6 | ≤ | 10 | 5 | 1 |
二氧化碳(CO2),10-6 | ≤ | 10 | 5 | 0.5 |
氧化亚氮(N2O),10-6 | ≤ | 10 | 5 | 1 |
六氟化硫(SF6),10-6 | ≤ | 10 | 5 | 2 |
可水解氟化物(以HF计)或总酸度,10-6 | ≤ | 1 | 1 | 1 |
水(H2O),10-6 | ≤ | 1 | 1 | 1 |